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BELEUCHTUNGSOPTIK IN FOTOLITHOGRAPHISCHEN BELICHTUNGSEINHEITEN = SYSTEME OPTIQUE D'ECLAIRAGE DANS LES DISPOSITIFS D'EXPOSITION EN PHOTOLITHOGRAPHIELEIPOLD H; SYMANOWSKI C.1980; FEINGERAETETECHNIK; ISSN 0014-9683; DDR; DA. 1980; VOL. 29; NO 12; PP. 561-564; ABS. ENG/FRE; BIBL. 6 REF.Article
